在半導體制造過程中，晶圓需要經歷一系列高精度的蝕刻、涂層、光刻等工藝，這些工藝都需要在特定的溫度范圍內進行，其所在生產車間環境參數的微小偏差，可能會導致晶圓材料的物理性質發生變化，導致產品性能大幅下降。

依托自主研發技術，江蘇克力空調有限公司的高精密恒溫恒濕系統的溫控精度可達 ±0.07℃，為半導體先進制程提供環境保障。目前，超高精密恒溫恒濕環控系統已服務多家芯片半導體領軍企業以及重點實驗室。

克力超高精密環控系統

三大自研科技精準護航

在精密環境控制領域，核心技術的自主研發能力是衡量企業實力的關鍵標尺。克力憑借三大核心自研科技 —— 超高精密傳感器、超高精密控制器、超高精密執行器，構建起全鏈路自主可控的技術體系，為環境超高精度控制提供底層支撐。

精準感知 | 超高精密傳感器

環境參數的精準捕捉是高精度控制的前提，克力搭載自主研發傳感技術，實時捕捉溫度等關鍵參數的細微波動。該傳感器經國家計量檢測機構權威認證，測溫精度達到 ±0.001℃的超高水準，有效規避外部因素對數據采集的干擾，提供真實、有效的原始數據支撐。目前，這一精度表現已達到國內行業TOP3水平。

智能解析 | 超高精密控制器

依托克力自主研發的智能控制算法，結合高精度傳感反饋機制，實現毫秒級快速響應與智能解析。該技術可精準匹配不同場景下的控制需求，確保調控動作的及時性與準確性。目前，相關技術已獲得多項發明專利及軟件著作權，不僅體現技術的合規性與先進性，更以標準化的技術領航行業發展。

協同保障 | 超高精密執行器

在執行層面，克力通過超高精密執行器與精密傳感器、智能控制器的深度協同，構建起閉環式精密執行體系。該體系以毫秒級響應速度，將控制器輸出的調控指令精準轉化為執行動作，實時修正環境參數偏差，確保系統始終維持在預設的高精度運行區間。

24小時不間斷

克力項目現場實時檢測

在克力某半導體光刻工藝實驗室項目中，環境要求需維持23士0.3°C、45士3%RH的嚴格條件，確保掩膜版與硅片熱膨脹系數匹配，減少套刻誤差。克力空調超高精密恒溫恒濕系統24小時穩定度經中國計量學院檢測：在設定點23℃下，溫度波動僅為 23℃±0.07℃，系統核心區域的溫度變化被精準地控制在極其狹窄的區間內； 在設定點45.0%相對濕度下，相對濕度波動范圍僅為±1.6%；溫度均勻度達 0.18℃，相對濕度均勻度為 0.9%，共同保證整個空間環境參數的高度均一與穩定。

克力定制化全周期解決方案

憑借不斷創新的技術實力、定制化解決方案與全周期服務保障，克力空調高精密恒溫恒濕環境控制系統已深度服務于全球半導體、光學、航空航天、精密制造、軍工領域的優秀企業及重點科研院所。

江蘇克力空調有限公司以 ±0.07℃溫控精度、±1.6% RH 濕度控制精度為核心競爭力，搭配自主研發的智能調控算法與節能技術，為各行業科研攻關與規模化生產提供恒穩環境保障。相信在未來，克力空調將繼續秉持技術領先的理念，為市場帶來更多優質的產品與服務，引領行業邁向更高的精度標準。